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“零排放！”涂岸北堂堂中国工程院院士，虽然汽车并不是他的专业范畴，但并非对发展潮流一无所知。九十年代以来的环保论甚嚣尘上，对汽车尾气污染的口诛笔伐不绝于耳。欧美等发达国家，都通过了限制汽车尾气的立法。虽然七十年代沃尔沃就发明了能够净化尾气的三元催化器，通过三种稀有金属催化剂，使汽车尾气中的有害气体通过氧化还原法，成为无害的二氧化碳、水和氮气。
但三元催化器对尾气的净化作用，是非常不稳定的。其能够起作用的理论条件，要求的温度非常苛刻，尾气转化根本无法达到完美状态。
而车载诊断系统，能够随时监测汽车发动机气体的氧含量和尾气排放成分，然后根据具体情况调整发动机电喷系统的工作状态。这种通过车载微电脑控制的系统，能够让汽车尾气精准的控制在三元催化器完美工作的温度下，从而实现汽车尾气有害气体的零排放。
涂岸北虽然对这项技术只是一知半解，但也能够从中感觉到美日欧这些发达国家，对这项技术会有多么追捧。人们在环保上面的敏感，使得只要这项技术得以推出，肯定会成为法律标准。毕竟一氧化碳和碳氢化合物，最先损害的就是车主的健康。一辆环保的汽车，肯定会成为车主的首选。
如果丰田集团在某地的势力强势一些，甚至可以推动环保标准的立法。想想看如果某地立法车辆必须实现有害气体零排放，而市面上又只有丰田一家能够提供这种汽车……
当然这种假设未免太异想天开了点，但如果丰田能够独家掌握这种技术，通过技术授权，势必就能卡住很多汽车企业的脖子。
周硕点了点头，谨慎的说道“当然，obd系统也只是理论上能够做到零排放。但有一点可以肯定的是，其比现在的尾气过滤技术，有着绝对的优势。”
俩人说完悄悄话，侍者正好走到近前。周硕笑着向丰田长男说道“丰田桑，我要向你隆重推荐泛翰研究所的招牌菜，扣三丝。它是由鸡胸肉、金华火腿和冬笋三种食材的细丝，通过蒸煮做成的。因为需要用手工切成极细的丝，这里的大师傅每天也只能做十份这道菜……”
丰田长男假笑着，用筷子夹起一口尝了尝，然后连忙竖起大拇指称赞道“不错，确实是难得的美味啊！”
周硕满意的点点头，笑道“呵呵，丰田先生喜欢就好。”
涂岸北也在旁边点着头，满面笑容的用普通话说道“看鬼子食不知味的表情，这么好的菜给他吃还真是浪费了。”
丰田长男连忙做了一个手势，向涂岸北笑道“涂桑、周桑，你们也请吧！”
“好好，都吃！”周硕哈哈大笑起来。
侍者将一桌子丰盛的佳肴摆上桌，然后便自觉的下去了。丰田长男没有吃几口菜，便又急不可耐的说道“周桑请恕我直言，obd系统的核心技术，恐怕并没有掌握在丰田研究院吧？”
周硕闻言摇了摇头，反驳道“丰田先生这可就冤枉我了，丰田研究院本身已经掌握了obd系统的全套技术。当然，其中一些关键技术，使用的是我们泛翰研究院的成果。但这些成果本身应用范围就很广泛，比如说……”
丰田长男摆了摆手，急躁的说道“周桑，我们明人不说暗话，你就开个价吧。”rs
第二百六十四章 水的奥秘
“水，而且是18兆欧的去离子纯水。”周硕用力的点了点头。
水，我们这个星球上面无数生命的源泉。它由一个氧原子和两个氢原子组成，在常温常压下为无色无味的透明液体。
它有很多的物理特性，比如说温度不同导致的密度和形态变化，重水、轻水、超临界水等不同的特殊状态，以及流动性、热传导性、溶解性和导电性等等，这种地球上最常见、可以说是成分最简单的物质之一，想要写完它的全部知识却需要一本最厚的书。
但具体到光刻机技术上，为什么周硕说水可以让0。8微米工艺，短时间内跨越到0。5微米技术？
这还要从光刻机工艺提升的两个方向说起。
所谓的制程工艺，究竟指的是什么呢？制程，实际上就是单晶硅晶圆上面的线宽。构成集成电路的基础，是单晶硅圆片上通过光刻腐蚀出来的线条。这些线条的粗细，也就决定了同一块芯片能够集成多少晶体管，能够达到什么样的性能。
而光刻机上决定线宽的因素，主要是光源和镜片这两种。光刻机生产芯片，其本质上和照相机并无太大区别。光线照射景物然后反射到照相机的镜头上，最后在胶片上形成影像。这个影像不就是比实物要小的多的多了吗？
同样，光刻机在单晶硅圆片上留下来的线条，可也不是一笔一笔刻上去的。而是通过对光学掩膜版进行曝光，然后让这些设计好的逻辑电路影像通过一组组镜头。最终得到比掩膜版要小得多的图像。这样对光敏感的光刻胶，就会被有选择的光照所去除。这些没有光刻胶覆盖的晶圆部分。就会在接下来的工艺中成为晶体管的结构基础。
不断的追求镜片加工极限，就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦（as。ml）。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家，后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司，这家公司干嘛的就不用说了，地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业，什么摩尔定律都得去见鬼。
当然，这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头，实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波，就如不同规格的刻刀。波长越短的光波，就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365nm的i线光。后来更换了准分子激光之后，光波才降低到了193nm的激光。
未来想要缩小刻蚀的分辨率，甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下，可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。
当然这些只是不准确的科普说法，如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系，或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……
本书的长度恐怕会有些不足，以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理（其实作者也不懂）就不多说了。
言归正传，涂岸北脑海中灵光一现，正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次，就相当于换了一个更细的刻刀。
而水的折射率是1。44，当0。8微米波长的光线穿过水之后，0。8除以1。44岂不正是0。56微米？如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下，得到更高一代的芯片制程技术。
这么简单的原理，周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力，未来的光刻机早就已经实现了这项技术。不仅是折射率1。44的水。更开发出折射率更高的液体。沉浸液成为镜片和光源之外，第三个能够快速减小线宽的因素。
“怎么样。大家现在还有什么疑问没有？”
在场的十四个研发人员都是周硕一手挑出来的大才，谁的心思不是一点就透。有几个甚至就是中科院里，参加了0。8微米全套工艺开发的研究员。他只是透出一点话头，这群人的眼睛立刻就亮了起来。
使用水作为沉浸液还面临着很多的问题，比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性，蒸发扰动以及水中气体的去除……
但这些问题和提高精密制造水平，根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域，但拼化学和系统设计，中国人可是太有信心了。
传承自苏联的中国科学家，在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑，那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈，也可以叫发展中国家的后发优势，全看人们从什么角度解读了。
以中国未来取得的成就来看，大可自豪的说是属于后一种角度。
“唔，我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头，笑道“周校长这个办法确实是奇思妙想，我看有尝试一下的必要。”
“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人，也不自觉的点头道“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来，我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”
“水中的气体可以通过真空法去除，这样我们就只需要考虑蒸发造成的扰动了……”
这十四个研究狂人，在周硕指出了路线之后，很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对，和实打实的科技成果比起来，面子值几个钱？国家投入十几个亿，花费了三年时间才把工艺从1。2微米推进到0。8微米。如果被自己从0。8微米再推进到0。5微米，恐怕当前实验室里又要多几个能领国。务。院津贴的了吧！
周硕笑着点头道“大家不要着急，我已经为你们每个人的研究内容，专门写了个计划书。接下来一个月，我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务，肯定就能准时的拿出0。5微米工艺生产线。”
涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车，窘迫的笑着摇了摇头说道“之前真不应该怀疑周校长，你可从来都是谋定而后动啊！有这种东西也不早拿出来，不然哪来这么多麻烦